高真空コーティング装置
ライカ EM ACE600 カタログ

FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンへの熱ダメージを最小限に抑えながら、非常に薄く均質で導電性のカーボン膜を成膜することが出来ます。ライカ EM VCT100 真空クライオ・トランスファーシステムと接続することで、クライオSEMをはじめとする真空系、また、大気非暴露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現できます。