大型XYステージ搭載顕微鏡 DM8000 M/DM12000 M(300mm対応）

微細な欠陥、異物を見落とし（テスト抜け）なく、広視野でまず外観検査できるマクロレンズ、微分干渉より高い解像力を実現するUV斜め観察法など、半導体検査、あるいは大型ワークの外観検査のスピードアップを可能にします。