ライカ ウェハ広視野表面検査システム

ウェハ上のエッチングパターンの幅・高さや異物認識などを広視野で目視および自動検査するシステムです。他の検査システムの欠陥データと連携し、指定の座標の画像を撮像し、保存や他システムへ送信できます。