走査型電子顕微鏡（SEM）、微細構造分析（EDS、WDS、オージェ、EBSD）やAFM測定のための断面作製装置です。旧機種からの特長である3本のイオンビーム（個別に制御可能）に加え、冷却ステージ、マルチサンプルステージなど新機能を搭載。試料を高速かつ広く深くミリングを行い、高品質な断面を作製します。